超精密加工的發展趨勢及研究方向

超精密加工的主要發展趨勢表現為
（1）向高精度方向發展，由現在的亞微米級向納米級進軍，最終達到“移動原子”的目的,實現原子級加工。
（2）向大型化方向發展，研製各類大型的超精密加工設備，以滿足航空、航天、通信的需要。
（3）向微型化方向發展，以適應飛速發展的微機械、集成電路的需要。
（4）超精結構、多功能、光機電一體化、加工檢測一體化等方向發展，廣泛的采用先進的檢測監控技術實時誤差補償。
（5）不斷提出一些新工藝和複合加工技術，使加工的材料的範圍不斷擴大。

超精密加工技術目前研究主要方向有
（1）超精密加工的加工機理。微細加工機理研究；微觀表麵完整性研究；在超精密範疇內的對各種材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工過程、現象、性能以及工藝參數進行提示性研究。
（2）超精密加工設備製造技術。納米級超精密車床工程化研究；超精密磨床研究；關鍵基礎件，如軸係、導軌副、數控伺服係統、微位移裝置等研究；超精密機床總成製造技術研究。
（3）超精密加工刀具、磨具及刃磨技術。金剛石刀具及刃磨技術、金剛石微粉砂輪及其修整技術研究。
（4）精密測量技術及誤差補償技術。納米級基準與傳遞係統建立；納米級測量儀器研究；空間誤差補償技術研究；測量集成技術研究。
（5）超精密加工工作環境條件。超精密測量、控溫係統、消振技術研究；超精密淨化設備，新型特種排屑裝置及相關技術的研究。

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